金融界2025年1月18日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“晶圆擦洗设备、擦洗系统、抛光设备及晶圆清洗方法”的专利，公开号CN 119314866 A，申请日期为2024年12月。

　　专利摘要显示，本申请实施例提供了一种晶圆擦洗设备、擦洗系统、抛光设备及晶圆清洗方法，其中晶圆擦洗设备包括：电机、伸缩模块、压力传感器、擦洗刷和控制器；所述电机和所述伸缩模块分别与所述擦洗刷相连；所述控制器与所述伸缩模块和所述压力传感器电连接；其中，所述电机用于驱动所述擦洗刷旋转，以使所述擦洗刷对晶圆进行擦洗；所述压力传感器用于检测所述擦洗刷与所述伸缩模块之间的作用力，并将检测结果传输给所述控制器；所述控制器用于根据所述检测结果控制所述伸缩模块执行伸缩动作，使所述伸缩模块驱动所述擦洗刷沿旋转轴线方向运动，以调整所述擦洗刷与晶圆之间的作用力，可以保持擦洗刷向晶圆表面施加的压力恒定。

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　　天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本23672.4893万人民币，实缴资本6000万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目210次，知识产权方面有商标信息64条，专利信息621条，此外企业还拥有行政许可29个。